防爆阀间差测量(行业:3D;应用:尺寸测量)
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刻蚀下料外观检测
应用背景:
刻蚀技术作为光伏电池片的基本制造工艺,具有加工精度高、设备成本低、能耗小的优势。但是往往在加工过程中可能产生废液,此过程中可能会产生废液,对环境的影响较大。
项目要求:
检测CT:≤0.2s;
误检率:≤0.3%;
漏检率:≤0.1%;
检测内容:带液、过刻、碎片。
项目分析:
1、检测硅片的带液、过刻、碎片瑕疵情况;
2、产品运动,相机静止拍照。
效果展示:
该系统采用500万黑白面阵相机配合一台白色开孔光源和2太白色条形光源,以确保检测出硅片的大部分瑕疵情况。
设备架设方式
硅片带液
硅片过刻
硅片碎片
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