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刻蚀下料外观检测(行业:新能源-光伏;应用:缺陷检测)

案例应用

刻蚀下料外观检测

应用背景:

刻蚀技术作为光伏电池片的基本制造工艺,具有加工精度高、设备成本低、能耗小的优势。但是往往在加工过程中可能产生废液,此过程中可能会产生废液,对环境的影响较大。

项目要求:

检测CT:≤0.2s;

误检率:≤0.3%;

漏检率:≤0.1%;

检测内容:带液、过刻、碎片。

项目分析:

1、检测硅片的带液、过刻、碎片瑕疵情况;

2、产品运动,相机静止拍照。

效果展示:

该系统采用500万黑白面阵相机配合一台白色开孔光源和2太白色条形光源,以确保检测出硅片的大部分瑕疵情况。

设备架设方式

硅片带液

硅片过刻

硅片碎片

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