PECVD石墨舟检测（行业：新能源-光伏；应用：缺陷检测）

石墨舟为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载具，其结构内部有很多具有一定间隔的舟片，硅片则贴附在舟片两侧。在镀膜时，相邻两个舟片由于被施加电压会形成正负极，当腔室内有一定的气压和气体时，两个舟片之间会发生辉光放电，使腔室内的SiH4和NH3气体电离，形成SixNy沉积在硅片表面，达到镀膜目的。
石墨舟检测常见的检测项包括：少片、硅片翘起、硅片缺角、舟体变形、螺母松动。

CT：10~15sec/舟；

误检率：≤0.3%；

漏检率：≤0.3%；

检测需求：硅片少片、翘起、缺角，螺母松动、舟体变形。

1、由于面阵相机需要多个，架设受到设备安装的空间限制，需要在现场环境中根据实际情况测试优化。

我司石墨舟检测采用双线阵相机运动拍摄+XY轴行程模组方案，左侧和右侧相机分别扫描舟片左侧和右侧的硅片，成像畸变小，检测精度高。

由于面阵相机需要多个，架设受到设备安装 空间限制，需要在现场环境中根据实际情况测试优化。